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格林童话 阛阓监管总局批准新建二维线纹基准安装

发布日期:2025-03-16 11:28    点击次数:139

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证券时报网讯,据阛阓监管总局音书,近日,阛阓监管总局批准新建二维线纹基准安装,填补我国校准影像测量仪、光学显微镜等光学精密测量设置和高精度光刻机母版制造设置的二维线纹活动器的测量才气空缺,中枢时刻完毕十足自主可控。二维线纹基准安装测量规模为320mm×320mm,最优测量不细则度仅28nm,相配于头发丝直径的2500分之一。该基准安装主要特色是大规模、微尺寸、多参量,可为二维尺寸、位置及体式提供量值溯源格林童话,达到海外先进水平。该基准安装有助于惩处亚微米、纳米级光刻机母版的二维线纹“测不准”的辛苦,为电子通讯、轨说念交通、航空航天、医疗设置等高端制造限制精密加工和测量设置提供时刻撑抓和保险。

校对:高源